一、日本鷺宮 QLK 系列卡門渦街液體流量計 產品概述
QLK 系列卡門渦街式液體流量計是日本鷺宮制作所（SAGInoMIYA）推出的高純度液體專用流量監測儀表，專為半導體、液晶制造工藝開發。采用無活動部件的卡門渦街測量原理，可在低壓損、強磁場環境下實現高精度流量測量，是高純水、化學品回路流量監控的理想設備。
二、核心性能與優勢
無活動部件設計
采用無活動部件的簡潔結構，大幅提升設備耐用性與穩定性，減少維護需求，適配高純度液體回路的長期連續運行，避免因部件磨損導致的污染或測量誤差。
高精度寬量程測量
低壓損設計，可在寬廣的流量范圍內實現穩定、高精度測量，滿足不同工況下的流量監控需求，同時降低對工藝流體的壓力影響。
強磁場環境適應性
特殊設計使其可在強磁場環境中正常使用，適配半導體制造等存在強磁場干擾的特殊工況，確保測量數據的準確性與穩定性。
高純度流體兼容
與液體接觸的部分采用適配高純度液體的材質，專為超純水、化學品回路設計，可避免污染工藝流體，保障生產工藝的純度要求。
三、主要技術參數
| 項目 | 規格詳情 |
|---|---|
| 品牌型號 | SAGInoMIYA QLK 系列 |
| 測量原理 | 卡門渦街式 |
| 電源電壓 | DC3V（單 3 形電池 ×2，無輸出） |
| 公稱通徑 | 15A / 20A（對應 DN15 / DN20） |
| 最高使用壓力 | 15A：0.6MPa；20A：0.5MPa |
| 適用介質 | 超純水、高純度液體 |
| 工作環境 | 強磁場環境可穩定運行 |
四、日本鷺宮 QLK 系列卡門渦街液體流量計 應用場景
半導體晶圓制造工藝中的超純水、化學品回路流量監控
液晶面板生產線的高純度液體流量管理
電子行業高純水制備系統的流量監測
制藥行業工藝液體流量控制（拓展應用）
