一、日本鷺宮 RNE 系列超純水電阻率計 產品概述
RNE 系列液體電阻率計是日本鷺宮制作所(SAGInoMIYA)推出的高純度液體專用在線監測儀表,專為純水、超純水等場景開發,可通過測量液體電阻率實現純度管理,是半導體晶圓制造、液晶面板生產線中水質監控的關鍵設備。
二、核心性能與優勢
高純度液體精準監測
專為純水、超純水優化設計,通過測量液體電阻率實現純度管理,可穩定監控半導體、液晶制造工藝中的高純水水質,保障生產環境符合工藝要求。
多參數同步顯示
專用控制器可同時顯示電阻率 / 電導率數值,并同步顯示液體溫度,便于運維人員綜合評估水質狀態,及時發現水質異常。
高可靠性絕緣設計
輸入、輸出與傳感器之間采用絕緣隔離設計,有效避免信號干擾,提升設備運行穩定性,適配工業復雜工況環境。
標準工業安裝規格
采用 DIN 96×48mm 面板式安裝尺寸,可直接集成于控制柜,節省安裝空間,適配自動化系統集成需求,方便現場安裝與維護。
三、主要技術特點
| 項目 | 規格詳情 |
|---|---|
| 品牌型號 | SAGInoMIYA RNE 系列 |
| 測量項目 | 電阻率、電導率、溫度 |
| 適用介質 | 純水、超純水等高純度液體 |
| 安裝規格 | DIN 96×48mm 面板式安裝 |
| 絕緣設計 | 輸入 / 輸出 / 傳感器間絕緣隔離,抗干擾能力強 |
四、日本鷺宮 RNE 系列超純水電阻率計 應用場景
半導體晶圓制造超純水系統在線監控
液晶面板生產線高純水水質管理
制藥、電子行業高純水制備工藝監測
實驗室超純水設備純度檢測






